发布者：伺服驱动器维修部    来源：上海仰光电子科技有限公司     发布时间：2021-8-11

射频电源维修、对光伏企业生产设备如：刻蚀设备所用的国产中科院及中国微电子所研究制造的SY型射频功率源包括黑色面板和白色面板两种，功率包括：进口刻蚀设备射频电源维修；PECVD所用的美国AE PEII 10K 和 AE PEII 5K等AE射频电源维修；RF射频电源维修，烧结炉驱动卡维修；1394电机驱动卡维修;baccini丝网印刷机设备工控主板维修、相机驱动卡维修、恒温槽维修等光伏设备电子备件维修有丰富的维修经验。我们的维修具有成功率高、维修速度快，价格优惠等优点。

射频电源常见故障及维修：

故障现象1：打开电源，电源指示灯不亮；

故障现象2：电源灯亮了，预热灯不亮；

故障现象3：电源灯亮了，预热灯亮、辉光亮，匹配器功率及反射功率，电源的功率指示和电流指示不正常。（正常的功 率指针指到220，电流指示0.4）

故障现象4：电源灯亮了，预热灯亮，辉光不亮；

故障现象5：无功率输出；

故障现象6：有功率输出，但是调不大，或是调不到正常值。

故障现象7：无反射功率，或反射功率过大，射频功率源坏；

可维修高压电源主要包括了X光机高压电源，激光高压电源，光谱分析高压电源，无损探伤高压电源，半导体制造设备高压电源，毛细管电泳高压电源，无损检测高压电源，半导体技术中的粒子注入高压电源、物理汽相沉积高压电源(PVD),纳米光刻高压电源，用于离子束沉积、离子束辅助沉积、电子束蒸发、电子束焊接、离子源、直流磁控反应溅射、玻璃/织物镀膜、辉光放电、微波处理高压电容测试、CRT显示器测试、高压电缆故障测试（PD testing）、TWT测试、H-POT测试。粒子加速器、自由电子激光、中子源、回旋加速源器、电容电感脉冲发生网络、Marx高压脉冲发生器、电容充电器。微波加热、射频放大、纳米技术应用、静电技术应用、静电纺丝制备纳米纤维，核仪器用高压电源等的高压电源产品。

本司有维修和测试设备来维修和调校这种电源，并有工程师绘有TDC系列完整的线路图和详细的测试方法，提供媲美原厂的维修质量，可以快速定位故障点，查出产生故障的根本原因，并备有原装备件维修，修好后带上满负载测试和耐压测试,以保证维修质量，急用时可直接送到维修部，加急维修。

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