发布者：变频器维修部    来源：上海仰光电子工程部     发布时间：2021-6-18

  维修目前：CLX系列低频电源、CLF系列低频电源、CX系列高频电源、CX5K和CX10K高频射频功率源、CXH系列高功率/高频电源、CPS系列高频电源、CB系列高频射频电源、CV系列甚频（VHF）电源、CDX系列双频电源、XDC1000直流电源、MATCH自动调谐网络、ESC系列静电夹盘电源
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电源维修：大功率开关电源维修，AE电源维修，RF射频电源维修，高频电源维修，高压电源维修，高频直流电源维修，主机电源维修，中频电源维修，UPS电源维修，UPS不间断电源维修，应急电源维修，逆变电源维修，通信电源维修，IGBT电源维修，12v开关电源维修,电力电源维修，模块电源维修，航天/工业电源维修，EPS电源维修，医疗电源维修，网络电源维修，射频电源维修。

 射频电源常见故障及维修方法：

故障现象1：打开电源，电源指示灯不亮；

故障现象2：电源灯亮了，预热灯不亮；

故障现象3：电源灯亮了，预热灯亮、辉光亮，匹配器功率及反射功率，电源的功率指示和电流指示不正常。（正常的功 率指针指到220，电流指示0.4）

故障现象4：电源灯亮了，预热灯亮，辉光不亮:；

故障现象5：无功率输出；

故障现象6：有功率输出，但是调不大，或是调不到正常值。

故障现象7：无反射功率，或反射功率过大，射频功率源坏；

  电源维修范围：

 刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等工艺设备电源维修，进口设备工业电源、中科院射频电源、高频电源、美国AE电源维修 ,也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源 CLX系列低频电源、CLF系列低频电源、CX系列高频电源、CX5K和CX10K高频射频功率源、CXH系列高功率/高频电源、CPS系列高频电源、CB系列高频射频电源、CV系列甚频（VHF）电源、CDX系列双频电源、XDC1000直流电源、MATCH自动调谐网络、ESC系列静电夹盘电源 ,美国AE电源维修，美国MDX,MDXII,Pinnacle，Pinnacle，Diamond系列

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