发布者：变频器维修部    来源：上海仰光电子工程部     发布时间：2021-5-19

  RF射频电源有输出电压，但输出电压过高

这种故障忘完来自稳压取样和稳压控制电路。我们知道，直流输出、取样电阻、误差取样放大器、光电耦合器和电源控制芯片等电路共同构成一个闭合的控制环路，在这一环节中，任何一处出现问题都会导致输出电压升高。

对于有过压保护电路的电源，输出电压过高首先会使过压保护电路动作，此时，可断开过压保护电路，使过压保护电路不起作用，测开机瞬间的电源主电压。如果测量值比正常值高，说明输出电压高。实际维修中，以取样电阻变值、误差放大器或光电耦合器不良常见。

  RF射频电源输出电压过低

根据维修经验，除稳压控制电路会引起输出电压过低外，还有一些原因会引起输出电压过低。主要有以下几点。

a.开关电源负载有短路故障。此时，因断开开关电源电路的所有负载，以区分是开关电源不良还是负载电路有故障。若断开负载电路电压输出正常，说明是负载过重，若仍不正常，说明开关电源有故障。

b.输出电压整流二极管，滤波电容失效等，可以通过代换法进行判断。

c.开关管的性能下降，必然导致开关管不能正常导通，使电源的内阻增加，带负载能力下降。

d.开关变压器不良，不但造成输出电压下降，还会造成开关管激励不足而屡损开关管。

e.大滤波电容（即300V滤波电容）不良，造成电源带负载能力差，一接负载输出电压便下降。

一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源

1、  AE（ADVANCED ENERGY）射频电源/直流电源

2、  MKS ENI射频电源/直流电源

3、  DAIHEN射频电源

4、  KYOSAN射频电源/直流电源

5、  COMDEL射频电源

6、  ADTEC射频电源

7、  SEREN射频电源

二、RF MATCH(射频电源匹配网络)

1、  AE （Advanced Energy） RF Match Network

2、  LAM RF Match Network

3、  AMAT RF Match Network

4、  SEREN RF MATCH NETWORK

5、  DAIHEN RF Match Network

6、  SEREN RF Match Network

三、高压电源

1、  HiTek Power supply高压电源

2、  ADVANCE HIVOLT高压电源

3、  Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源

4、  GLASSMAN高压电源

5、  SPELLMAN高压电源

6、  Varian高压电源

7、  其他品牌

四、直流电源

1、  LAMDBA ESS/EMI直流电源

2、  Delta ELEKTRONIKA直流电源

3、  SORENSEN直流电源

4、  AMETEK可编程电源

5、  POWER TEN直流电源

6、  灯丝电源、X射线电源

7、  曝光灯电源USHIO（ Mercury lamp power supply）

五、微波电源发生器

1、  ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator

2、  MUEGGE Microwave Power Supply微波电源

3、  ASTeX Smart Match

六、RPSC

      MKS 2L

      MKS 3L

      MKS 6L

      MKS 8L

      MKS 15L

      MKS 22L

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